Возможность готовить ультратонкие пробы (толщиной до 50 нм) для просвечивающего электронного микроскопа на локальных участках образца. Модификация и восстановление микросхем.
Гарантированный минимальный размер канавки травления 100нм, минимально достигаемый – 10 нм².
Ионная пушка - галлиевая жидкометаллическая. Изменение размеров ионного пучка в пределах 5-500 нм с автоматической запрограм-мированной сменой апертур (не менее 10 ступеней).
Диапазон изменения тока ионного пучка: 1-10нА, плотность тока до 50А/см² , нестабильность пучка менее 5%/час .
Вакуум в исследовательской камере ~1,3•10^-6 мбар после 24-х часовой откачки. Вакуум в камере ионной пушки < 4•10^-7 мбар.
Время откачки исследовательской камеры ~ 210 сек до 10^-4 мбар.
Максимальные размеры образца: диаметр 80 мм или площадь 55 мм², высота до 25 мм, вес до 150 г. 
5 степеней свободы стола-держателя (X, Y±25 мм, Z 25мм, поворот 3600, наклон -10 +450).
Источники для осаждения платины и ионно-стимулированного травления диэлектриков.