МИСиС
Оборудование
Правила заказа работ
О нас
ЦКП "Материаловедение и металлургия"
Вход
Регистрация
Back
Установка дуального магнетронного напыления UNICOAT 900
Информация
Заказ работы
Производитель:
ООО «НПФ Элан-Практик», Россия
Вид измерений/испытаний:
Прочие
Тип оборудования:
UNICOAT 900
Назначение:
Оборудование для физической обработки материалов
Технические характеристики:
Установка UNICOAT 900 предназначена для нанесения покрытий в вакууме на изделия различного назначения (режущий инструмент, медицинские изделия и др.). Возможно нанесение однослойных и многослойных покрытий, в том числе металлических покрытий; оксидов, карбидов, боридов и нитридов переходных металлов; многокомпонентных наноструктурированных покрытий, нанокомпозиционных покрытий и др.
В вакуумной камере установки находятся четыре попарно смонтированных несбалансированных магнетрона, ионный источник щелевого типа и два протяженных нагревателя. Использование дуальной схемы обеспечивает повышение соотношения ион/атом в потоке, улучшение структуры и свойств покрытий, предотвращает образование оксидных пленок на поверхности мишени при распылении в кислородсодержащей газовой среде. Для электропитания магнетронов используются блоки ИВЭ-157Д (ЗАО Плазматех, Россия) с частотой импульсов в диапазоне 0-40 кГц и мощностью до 12 кВт на каждый канал (имеется возможность работы двух каналов в дуальном режиме или параллельное подсоединение каналов с увеличением мощности до 24 кВт).
Может быть обеспечено два типа перемещения изделий в процессе осаждения покрытий:
¦ вращение всей карусели вокруг центральной оси одновременно с индивидуальным вращением каждой периферийной стойки с изделиями;
¦ вращение каждой периферийной стойки с изделиями напротив пары магнетронов или ионного источника. Откачка вакуумной камеры в базовом варианте обеспечивается тремя насосами: диффузионным, бустерным и пластинчато роторным. Система газоподачи позволяет поддерживать соотношение аргона и двух реакционных газов при постоянном рабочем давлении. Процесс нанесения покрытий может полностью контролироваться управляющим компьютером по заранее заданной программе.
Технические характеристики: Количество магнетронов 4, Длина/ширина магнетрона 810/90 мм, Тип электропитания магнетрона DC и/или Pulse DC, Максимальная частота в режиме Pulse DC 40 кГц, Максимальная мощность на магнетроне 12 кВт, Напряжение смещения (Uсм) 0–1200 В, Частота для Uсм 0–40 кГц, Высота щели ионного источника 800 мм, Напряжение на ионном источнике до 3 кВ, Контроль процесса Полное компьютерное управление. Возможность программирования
Место размещения:
К, К-01
Подразделение:
НУЦ СВС МИСиС-ИСМАН
Контакты:
Лайшева К.А., laisheva@misis.ru, +74959550181
Требуемые квалификации:
Ориентировочная стоимость нормочаса:
Ссылка на прохождение обучения:
-Неделя
Сегодня
+Неделя
Для заказа работы на оборудовании или услуги требуется регистрация!
10:00-11:00
11:00-12:00
12:00-13:00
13:00-14:00
14:00-15:00
15:00-16:00
16:00-17:00
17:00-18:00
18:00-19:00
19:00-20:00
20:00-21:00
21:00-22:00
22:00-23:00
23:00-24:00
0:00-1:00
1:00-2:00
2:00-3:00
3:00-4:00
4:00-5:00
5:00-6:00
6:00-7:00
7:00-8:00
8:00-9:00
9:00-10:00
Пн (мар 25)
Вт (мар 26)
Ср (мар 27)
Чт (мар 28)
Пт (мар 29)
Сб (мар 30)
Вс (мар 31)
Вход
Логин:
Пароль:
Запомнить
Вход