МИСиС
Оборудование
Правила заказа работ
О нас
ЦКП "Материаловедение и металлургия"
Вход
Регистрация
Back
Комплекс оборудования для напыления тонких пленок Sunpla 40TM (установка магнетронного напыления)
Информация
Заказ работы
Производитель:
Sunpla, Южная Корея
Вид измерений/испытаний:
Определение состава, структуры и свойств веществ и материалов
Тип оборудования:
40TM
Назначение:
Приборы и аппаратура для исследования и анализа поверхности прочие
Технические характеристики:
Предназначена для напыления металлических, диэлектрических и полупроводниковых материалов как простых веществ, так и сложных соединений. Установка позволяет напылять электрооптические, многослойные градиентные покрытия с заданными толщинами каждого слоя. Шлюзовая камера оснащена системой очистки и загрузочной кассетой с держателем на три образца диаметром 4''. Камера снабжена ионной пушкой для очистки подложки, предусмотрена подача высокочастотного потенциала на подложку.
Диаметр распыляемой мишени – 2'';
Максимальное давление остаточных газов – 10
-6
Торр;
Максимальная температура подложки – 800 °C;
Максимальный диаметр подложки – 4'';
Максимальное количество газов – 3;
Одновременная работа магнетронов – да;
Вращение подложки – да;
Количество магнетронов – 4.
Место размещения:
К, К-417
Подразделение:
ЦКП "Материаловедение и металлургия"
Контакты:
Марьина Г.
Требуемые квалификации:
Ориентировочная стоимость нормочаса:
Ссылка на прохождение обучения:
-Неделя
Сегодня
+Неделя
Для заказа работы на оборудовании или услуги требуется регистрация!
10:00-11:00
11:00-12:00
12:00-13:00
13:00-14:00
14:00-15:00
15:00-16:00
16:00-17:00
17:00-18:00
18:00-19:00
19:00-20:00
20:00-21:00
21:00-22:00
22:00-23:00
23:00-24:00
0:00-1:00
1:00-2:00
2:00-3:00
3:00-4:00
4:00-5:00
5:00-6:00
6:00-7:00
7:00-8:00
8:00-9:00
9:00-10:00
Пн (апр 22)
Вт (апр 23)
Ср (апр 24)
Чт (апр 25)
Пт (апр 26)
Сб (апр 27)
Вс (апр 28)
Вход
Логин:
Пароль:
Запомнить
Вход