МИСиС
Оборудование
Правила заказа работ
О нас
ЦКП "Материаловедение и металлургия"
Вход
Регистрация
Back
Комплекс оборудования ТеТеМ для послеростовой подготовки поверхности (фемтосекундная система; установка плазмохимической обработки)
Информация
Производитель:
ООО «Авеста» и «ТеТеМ», Россия
Вид измерений/испытаний:
Определение физико-химического состава и свойств веществ
Тип оборудования:
-
Назначение:
Приборы и аппаратура для исследования и анализа поверхности прочие
Технические характеристики:
В комплекс оборудования для послеростовой подготовки поверхности входят:
1. Фемтосекундная система ООО «Авеста» (Россия)
Предназначена для импульсного воздействия на образцы световым излучением высокой интенсивности (1010 и более Вт/см2) с целью структурной модификации материала, возбуждения электронной подсистемы, в том числе за счет реализации режима многофотонного поглощения, а также для ассистирования процесса роста тонких пленок методом высокочастотного магнетронного распыления.
Технические характеристики:
Длины волн излучения: 800 нм, 400 нм и 267 нм
Частота повторения до 1 кГц
Энергия импульса на первой гармонике >3,5 мДж
Длительность импульса < 50 фс
2. Установка плазмохимической обработки «ТеТеМ» (Россия)
Источник плазмы предназначен для активизации газовых реакций при пониженном давлении (1...10 Па) и позволяет генерировать ионы рабочего газа плотностью 1011 см
-3
. Источник плазмы состоит из трех взаимосвязанных устройств: реактор, ВЧ генератор и газовая система. Газовая система состоит из двух независимых каналов для подачи в зону реакции смеси газа-носителя и рабочего газа-прекурсора. В состав каждого канала входит полный комплект газовых элементов, необходимых для регулирования, управления и контроля газового потока. Подключение дополнительного высокочастотного генератора (и согласующего устройства соответственно) к подложкодержателю, не соединенного с корпусом установки, позволяет независимо от основного источника разряда корректировать энергию ионов.
Место размещения:
К, К-417
Подразделение:
ЦКП "Материаловедение и металлургия"
Контакты:
Марьина Г.
Требуемые квалификации:
Ориентировочная стоимость нормочаса:
Ссылка на прохождение обучения:
Вход
Логин:
Пароль:
Запомнить
Вход