МИСиС
Оборудование
Правила заказа работ
О нас
ЦКП "Материаловедение и металлургия"
Вход
Регистрация
Back
Комплекс вакуумного осаждения
Информация
Заказ работы
Производитель:
-, Россия
Вид измерений/испытаний:
Прочие
Тип оборудования:
УВН-2М
Назначение:
Оборудование для физической обработки материалов
Технические характеристики:
Модернизированная установка магнетронного напыления на базе вакуумной системы УВН-2М предназначена для нанесения упрочняющих покрытий на мелкогабаритные изделия различного назначения. Возможно нанесение однослойных и многослойных покрытий.
В вакуумной камере установки смонтированы два дисковых магнетрона и ионный источник щелевого типа. Ионный источник позволяет проводить очистку подложек путем травления поверхности ионами Ar+ непосредственно перед нанесением покрытий. Комбинация из двух магнетронов позволяет использовать один из магнетронов для нанесения адгезионных подслоев. Образцы закрепляются на столике, в котором смонтированы нагреватель (нагрев до 500 °С), термопара (ХА) и обеспечен подвод напряжения смещения. Столик с помощью двухосной системы вращения позиционируется над магнетроном или ионным источником. Контроль давления и состава газовых смесей (Ar, N2, O2) осуществляется c помощью системы Multi Gas Controller 647C (MKS, США). Диагностика плазмы проводиться с помощью переносного оптического эмиссионного спектрометра тлеющего разряда Plasmascope (Horiba Jobin Yvon,Франция) с использованием кварцевого световода, подключенного через отдельный порт.
Технические характеристики:
Количество магнетронов 2;
Диаметр магнетрона 140 мм;
Максимальная мощность на магнетрон 3 кВт;
Тип электропитания магнетрона - постоянный ток и/или импульсное;
Напряжение смещения От 0 до –1 кВ;
Максимальная мощность на ионный источник 300 Вт
.
Место размещения:
К, К-02
Подразделение:
НУЦ СВС МИСиС-ИСМАН
Контакты:
Лайшева К.А., laisheva@misis.ru, +74959550181
Требуемые квалификации:
Ориентировочная стоимость нормочаса:
Ссылка на прохождение обучения:
-Неделя
Сегодня
+Неделя
Для заказа работы на оборудовании или услуги требуется регистрация!
10:00-11:00
11:00-12:00
12:00-13:00
13:00-14:00
14:00-15:00
15:00-16:00
16:00-17:00
17:00-18:00
18:00-19:00
19:00-20:00
20:00-21:00
21:00-22:00
22:00-23:00
23:00-24:00
0:00-1:00
1:00-2:00
2:00-3:00
3:00-4:00
4:00-5:00
5:00-6:00
6:00-7:00
7:00-8:00
8:00-9:00
9:00-10:00
Пн (апр 22)
Вт (апр 23)
Ср (апр 24)
Чт (апр 25)
Пт (апр 26)
Сб (апр 27)
Вс (апр 28)
Вход
Логин:
Пароль:
Запомнить
Вход