Бесконтактный метод. Диаметр измеряемых пластин до 120 мм, правильность интерферометра 0,05 инт. полос. Источник излучения - гелий-неоновый лазер l = 0,63 мкм. Измеряемые параметры – отклонение от плоскостности бесконтактным методом от 0,03 до десятков микрометров.
МИСиС